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1200低真空CVD系统

1200低真空CVD系统
  • 品牌:上海煜志
  • 产地:上海
  • 关注度:2688
  • 型号:YHGS-120612I-3ZD
  • 报价:20-30万元
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    简介

    1200℃低真空CVD系统是由滑动式管式实验电炉,混气系统,真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃,通过滑动炉体来实现快速的升降温;配置不同的真空系统来达到理想的真空度;同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。是为石墨烯生长、研发的专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。

    主要技术参数

    炉体结构

    整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构;

    日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好;

    炉子底部装有一对滑轨,移动平稳;

    炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却;

    支撑两端安装油压缓冲器;

    炉盖可开启,可以实时观察加热的物料

    尺寸重量

    1240*600*1340mm;170kg

    电源

    电压:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

    炉管

    高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小;

    尺寸:Φ60/80/100*1200mm

    法兰及支撑

    SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空;

    一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷;

    可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑;

    包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合。

     

    加热系统

    加热元件采用优质合金丝,表面负荷高、经久耐用; 加热区长度:300mm;恒温区长度:150mm; 工作温度:≤1150℃; **温度:1200℃;

    升温速率:推荐≤10℃/min,*快升温速度30℃/min

    温控系统

    日本富士仪表,64段控温程序,可分步、分段; 测温元件:N型热电偶; 控温精度:±1℃

    混气系统

    三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制

    内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

    管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套

    每路气体进气管路配有不锈钢针阀

    通过控制面板上的旋钮来调节气体流量

    流量规格:0~1SLM 流量精度:±1.5%

    真空系统

    采用双极旋片真空泵,真空度可达10Pa

    可选配件

    高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件

    保修期

    整机一年保修(相关耗材除外)

    可根据客户要求定制!

    特色与优势


    1.滑动式炉体结构实现快速升降温;

    2.开启式炉盖设置,降低沉积温度、加快沉积速度;

    3.日本富士温控仪表,64段控温程序,可分布,分段,三路质量流量计,数字显示精确控制气体流量;

    4.双极旋片真空泵+分子泵,实现对真空度的不同要求,极限真空可达4.0*10-4Pa。

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    工商信息

    企业名称

    杭州嘉悦智能设备有限公司

    企业类型

    其他有限责任公司

    信用代码

    91310114MA1GTDEL81

    法人代表

    张鹏

    注册地址

    浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23幢202室

    成立日期

    2020-05-12

    注册资本

    1,939.1万(元)

    有效期限

    2020-05-12 至 无固定期限

    经营范围

    一般项目:通用设备制造(不含特种设备制造);烘炉、熔炉及电炉制造;冶金专用设备制造;玻璃、陶瓷和搪瓷制品生产专用设备制造;半导体器件专用设备制造;烘炉、熔炉及电炉销售;泵及真空设备销售;电子产品销售;仪器仪表销售;机械设备研发;冶金专用设备销售;半导体器件专用设备销售;机械电气设备销售;工业自动控制系统装置销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;新材料技术研发;新型陶瓷材料销售;石墨烯材料销售;石墨及碳素制品销售;非金属矿及制品销售;功能玻璃和新型光学材料销售;货物进出口;技术进出口(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。
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